気中パーティクルカウンタ
気中パーティクルカウンタ(微粒子計測器)の測定原理は、粒子にレーザー光が当たると散乱光を発します。大きい粒子ほど散乱光は大きく、その散乱光をフォトダイオード（受光素子）で検知し、電圧信号に変え、粒径は電圧信号の強さで判定されます。粒子の個数は、電圧信号の数の多さで判定されます。これを光散乱方式といいます。
光散乱方式のパーティクルカウンタは、標準粒子（真球）のパルス髙に対して粒径しきい値を設定しています。標準粒子の屈折率が基準となっています。
パーティクルカウンタは、どのような形状、密度の粒子であっても、真球の標準粒子の光散乱強度とみなして計測しています。
（TSI 社製 パーティクルカウンタ）
| Model | 試料空気流量 | 計測粒径区分 | タイプ |
| 9110 | 28.3L/min | 0.1/0.15/0.2/0.25/0.3/0.5/1.0/5.0μm | ポータブル |
|---|---|---|---|
| A100-31 | 28.3L/min | 0.3/0.5/1.0/3.0/5.0/10μm | |
| A100-35 | 50L/min | 0.3/0.5/1.0/3.0/5.0/10μm | |
| A100-51 | 28.3L/min | 0.5/0.7/1.0/3.0/5.0/10μm | |
| A100-55 | 50L/min | 0.5/0.7/1.0/3.0/5.0/10μm | |
| A100-50 | 100L/min | 0.5/0.7/1.0/3.0/5.0/10μm | |
| 9303 | 2.83L/min | 0.3/0.5（1.0/2.0/2.5）/5.0μm | ハンドヘルド |
| 9306 | 2.83L/min | 0.3/0/5/1.0/3.0/5.0/10μm |
仕様表は横にスクロールしてご覧ください。
計測範囲： 0.1～10μm
吸引流量： 28.3L/min
日本語タッチパネル
半導体・電子部品・液晶業界
ポータブル パーティクルカウンタ A100-31/A100-35
計測範囲：0.3～10μm
吸引流量：28.3・50L/min
日本語タッチパネル
製薬・医療・食品・液晶業界
ポータブル パーティクルカウンタ A100-51/A100-55/A100-50
計測範囲： 0.5～25μm
吸引流量：
28.3・50・100L/min
日本語タッチパネル
製薬・医療・食品・自動車業界
計測範囲： 0.3～25μm
吸引流量： 2.83L/min
3粒径計測（9303）
6粒径計測（9306）
日本語タッチパネル（9306）
計測範囲： 0.1～10μm
吸引流量： 28.3L/min
連続監視
多点モニタリング用センサ
半導体・電子部品・液晶業界
リモート パーティクルセンサ 7201/7301/7310/7501/7510
計測範囲： 0.2～25μm
吸引流量： 2.83・28.3L/min
連続監視
多点モニタリング用センサ
製薬・医療・食品・液晶業界
リモートパーティクルセンサ（ポンプ内蔵タイプ）
6201/6301/6501/6310/6510
計測範囲： 0.2～25μm
吸引流量： 2.83・28.3L/min
連続監視
多点モニタリング用センサ
製薬・医療・食品・液晶業界
粒径範囲：10nm～1μm
吸引流量：2.83L/min
凝縮液：超純水または脱イオン水
高圧ガス(CDA/N2/Ar)の圧力をパーティクルカウンタの動作に適した一般大気圧に減圧します。
アフターサービス（校正・修理）について
修理・点検・校正作業は、ニッタ㈱奈良工場および東京サービスセンタの2拠点で対応しています。微粒子計測器の分野で30年以上の経験を持ち、知識、情報、専門的な技術を蓄積してきました。ニッタ独自の技術力で、優れたメンテナンスサービス体制を構築しています。
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