気中パーティクルカウンタ
パーティクルカウンタ(微粒子計測器)とは、空気中や液体中にある埃や不純物などの微粒子を計数する計測器のことです。微粒子計測器の流路を通過する微粒子にレーザー光が当たると散乱光を発します。その微粒子からの光の散乱の強さを測り、大きい粒子ほど散乱光は強くなります。その粒子の大きさに比例した光強度を電気信号（パルス）として読み取り大きさを判定します。粒子の個数は電気信号の数で判定します。主にクリーンルームで使われ、その空気清浄度を測定するために用いられます。
光散乱式気中粒子計数器-校正方法及び検証方法
JIS B 9921（日本工業規格）/ ISO 21501-4（国際標準化機構）
クリーンルームの清浄度規格
ISO 14644-1:2015（国際標準化機構）
パーティクルカウンタは、JIS B 9921 に定められた性能を満たさなければなりません。
校正は性能を満たすために行う作業でもあり、合格範囲に入るよう調整または、その確認をするものです。
計数効率
パーティクルカウンタが計測できる最小粒径付近の校正粒子において（50±20%）、最小粒径の1.5 倍から 2 倍の大きさの粒径の校正粒子において（100±10%）計測しなければなりません。検査する対象器と参照器（基準器）の両方で粒子個数を計測します。
「100 個の粒子を吸引した時、実際に何個数えるか」という検査です。
偽計数
パーティクルカウンタが計測できる最小粒径において、電気的ノイズ等によるカウントと粒子通過によるカウントを分別する能力を確認する検査です。パーティクルカウンタ吸引口にフィルターを取り付けて清浄空気を測定したときの計数値です。
粒径分解能
パーティクルカウンタが、異なる大きさの粒子を区分する際の正確さを判定する検査です。
単分散の校正粒子（標準粒子）を測定したときの標準偏差で定義し、校正粒子の平均粒径との比で表します。
理想的なパーティクルカウンタは、図1のように、例えば0.1μmの単分散粒子を測定した場合、0.1μmの粒子として計測することですが、実際は様々な要因により図2のような分布になります。パーティクルカウンタは、レーザーから出力されるエネルギー（光の強さ）が粒子の通過する場所によってばらつきがあり、異なった粒径としてカウントしてしまいます。また散乱光を受光する受光素子の応答性のばらつきやノイズによって測定した粒子がある分散をもっているかのような結果を示します。この分布の広がりの程度を粒径分解能といいます。
パーティクルカウンタの試料空気流量は、1分あたり何リットル吸引できるかで決まっています。市販されている一般的なパーティクルカウンタは、2.83L/min（ハンドヘルド型）、28.3L/min（ポータブル型）で、最近は、50L/minや100L/minといった測定時間を短縮できる製品も販売されています。
（TSI 社製 パーティクルカウンタ）
| Model | 試料空気流量 | 計測粒径区分 | タイプ |
| 9110 | 28.3L/min | 0.1/0.15/0.2/0.25/0.3/0.5/1.0/5.0μm | ポータブル |
|---|---|---|---|
| A100-31 | 28.3L/min | 0.3/0.5/1.0/3.0/5.0/10μm | |
| A100-35 | 50L/min | 0.3/0.5/1.0/3.0/5.0/10μm | |
| A100-51 | 28.3L/min | 0.5/0.7/1.0/3.0/5.0/10μm | |
| A100-55 | 50L/min | 0.5/0.7/1.0/3.0/5.0/10μm | |
| A100-50 | 100L/min | 0.5/0.7/1.0/3.0/5.0/10μm | |
| 9303 | 2.83L/min | 0.3/0.5（1.0/2.0/2.5）/5.0μm | ハンドヘルド |
| 9306 | 2.83L/min | 0.3/0/5/1.0/3.0/5.0/10μm |
仕様表は横にスクロールしてご覧ください。
計測範囲： 0.1～10μm
吸引流量： 28.3L/min
日本語タッチパネル
半導体・電子部品・液晶業界
ポータブル パーティクルカウンタ A100-31/A100-35
計測範囲：0.3～10μm
吸引流量：28.3・50L/min
日本語タッチパネル
製薬・医療・食品・液晶業界
ポータブル パーティクルカウンタ A100-51/A100-55/A100-50
計測範囲： 0.5～25μm
吸引流量：
28.3・50・100L/min
日本語タッチパネル
製薬・医療・食品・自動車業界
計測範囲： 0.3～25μm
吸引流量： 2.83L/min
3粒径計測（9303）
6粒径計測（9306）
日本語タッチパネル（9306）
計測範囲： 0.1～10μm
吸引流量： 28.3L/min
連続監視
多点モニタリング用センサ
半導体・電子部品・液晶業界
リモート パーティクルセンサ 7201/7301/7310/7501/7510
計測範囲： 0.2～25μm
吸引流量： 2.83・28.3L/min
連続監視
多点モニタリング用センサ
製薬・医療・食品・液晶業界
リモートパーティクルセンサ（ポンプ内蔵タイプ）
6201/6301/6501/6310/6510
計測範囲： 0.2～25μm
吸引流量： 2.83・28.3L/min
連続監視
多点モニタリング用センサ
製薬・医療・食品・液晶業界
粒径範囲：10nm～1μm
吸引流量：2.83L/min
凝縮液：超純水または脱イオン水
高圧ガス(CDA/N2/Ar)の圧力をパーティクルカウンタの動作に適した一般大気圧に減圧します。
アフターサービス（校正・修理）について
修理・点検・校正作業は、ニッタ㈱奈良工場および東京サービスセンタの2拠点で対応しています。微粒子計測器の分野で30年以上の経験を持ち、知識、情報、専門的な技術を蓄積してきました。ニッタ独自の技術力で、優れたメンテナンスサービス体制を構築しています。
お気軽にお問合わせください
