高圧ディフューザー（減圧器）
エアロトラックシリーズModel 7950/7955/7960
気中パーティクルカウンタ
Model 7950：0.1cfm（2.83L/min）の気中パーティクルカウンタとナノ粒子カウンタ（model 9001）に使用できます。
Model 7955：1.0cfm（28.3L/min）の気中パーティクルカウンタに使用できます。クリーンドライエアに使用できます。
Model 7960： 28.3L/min、50L/min、100L/minの気中パーティクルカウンタに使用できます。
高圧ディフューザ（model 7950/7955/7960）は、高圧ガス（CDA/N2/Ar）を一般大気圧まで減圧、パーティクルカウンタの動作に適した規定流量で測定することができます。
圧縮空気システムの分岐配管と高圧ディフューザを接続して、高圧ディフューザのOUT側に接続したTSI社の気中パーティクルカウンタ（エアロトラックシリーズ）で圧縮空気の微粒子数を測定します。
高圧ディフューザ（model 7950/7955/7960）は、高圧ガス（CDA/N2/Ar）を一般大気圧まで減圧、パーティクルカウンタの動作に適した規定流量で測定することができます。
圧縮空気システムの分岐配管と高圧ディフューザを接続して、高圧ディフューザのOUT側に接続したTSI社の気中パーティクルカウンタ（エアロトラックシリーズ）で圧縮空気の微粒子数を測定します。
| 型 式 | 7950 | 7955 | 7960 |
|---|---|---|---|
| 微粒子計測器適用流量 | 2.83L/min (0.1CFM) | 28.3L/min (1.0CFM) | 28.3L/min (1.0CFM) 50L/min（最小入口圧力40PSI） 100L/min（最小入口圧力80PSI） |
| 圧力範囲 | 30-120PSI（約0.2-0.8MPa(G)） | 25-120PSI （約0.17-0.8Mpa(G)） |
|
| 対応ガス | クリーンドライエアー(CDA)、窒素(N2)、アルゴン(Ar) | ||
| 寸法（ＷｘＤｘＨ） | 194 x 398 x 95mm | 194 x 483 x 152mm | 191 x 349 x 63mm |
| 重量 | 3.4kg | 5.6kg | 1.1kg |
| IN側接続口※1 | 1/4-inch オスVCR 面シール継手 | ||
| OUT側接続口※2 | 1/4-inch チューブコネクタ | 1/2-inch チューブコネクタ | 3/8-inch チューブコネクタ |
| 材質 | 筐体: SUS304 / VCRガスケット: ニッケル | ||
| AeroTrak適合機種 | Model 9001(CPC)/9303/9306/ 6201/6301/6501/ 7201/7301/7501 |
Model 9110 / A100-31 / A100-51 / 7110 / 7310 / 7510 / 6310/ 6510 |
Model A100-31 / A100-35 / A100-55 / A100-50 / 7310 / 7510 / 6310 / 6510 |
仕様表は横にスクロールしてご覧ください。
計測範囲： 0.1～10μm
吸引流量： 28.3L/min
日本語タッチパネル
半導体・電子部品・液晶業界
ポータブル パーティクルカウンタ A100-31/A100-35
計測範囲：0.3～10μm
吸引流量：28.3・50L/min
日本語タッチパネル
製薬・医療・食品・液晶業界
ポータブル パーティクルカウンタ A100-51/A100-55/A100-50
計測範囲： 0.5～25μm
吸引流量：
28.3・50・100L/min
日本語タッチパネル
製薬・医療・食品・自動車業界
計測範囲： 0.3～25μm
吸引流量： 2.83L/min
3粒径計測（9303）
6粒径計測（9306）
日本語タッチパネル（9306）
計測範囲： 0.1～10μm
吸引流量： 28.3L/min
連続監視
多点モニタリング用センサ
半導体・電子部品・液晶業界
リモート パーティクルセンサ 7201/7301/7310/7501/7510
計測範囲： 0.2～25μm
吸引流量： 2.83・28.3L/min
連続監視
多点モニタリング用センサ
製薬・医療・食品・液晶業界
リモートパーティクルセンサ（ポンプ内蔵タイプ）
6201/6301/6501/6310/6510
計測範囲： 0.2～25μm
吸引流量： 2.83・28.3L/min
連続監視
多点モニタリング用センサ
製薬・医療・食品・液晶業界
粒径範囲：10nm～1μm
吸引流量：2.83L/min
凝縮液：超純水または脱イオン水
高圧ガス(CDA/N2/Ar)の圧力をパーティクルカウンタの動作に適した一般大気圧に減圧します。
アフターサービス（校正・修理）について
修理・点検・校正作業は、ニッタ㈱奈良工場および東京サービスセンタの2拠点で対応しています。微粒子計測器の分野で30年以上の経験を持ち、知識、情報、専門的な技術を蓄積してきました。ニッタ独自の技術力で、優れたメンテナンスサービス体制を構築しています。
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