微粒子計測器（パーティクルカウンタ）
リモートパーティクルセンサ（ポンプ内蔵タイプ）エアロトラックシリーズ
Model 6201/6301/6501
気中パーティクルカウンタ
クリーンルーム、安全キャビネット内の清浄度を24時間連続監視できるポンプ内蔵型のパーティクルカウンタ（微粒子計数器）です。
パーティクルカウンタの通信方式は、Ethernet（TCP/IP）、4-20mA出力を選択できます。
測定データはリアルタイムにＰＣ（モニタリングソフトウェア）または、データロガー等に出力します。
クリーンルーム、安全キャビネット内の清浄度を24時間連続監視できるポンプ内蔵型のパーティクルカウンタ（微粒子計数器）です。 パーティクルカウンタの通信方式は、Ethernet（TCP/IP）、4-20mA出力を選択できます。
測定データはリアルタイムにＰＣ（モニタリングソフトウェア）または、データロガー等に出力します。
適合規格： ISO 21501-4 / JIS B 9921 / CE
| 型 式 | 6201 | 6301 | 6501 |
|---|---|---|---|
| 粒径区分 （アナログ出力時：2粒径選択） |
0.2/0.3/0.5/1.0μm | 0.3/0.5/5.0/10μm 0.3/0.5/1.0/5.0/10/25μm |
0.5/1.0/5.0/10μm 0.5/5.0/10/25μm 0.5/1.0/5.0/10/25μm |
| 試料流量 | 2.83L/min（0.1CFM） | ||
| 最大粒子濃度 | 172,000,000/㎥ （計数損失10%以下） | ||
| 筐体材質 | ステンレス | ||
| 光源 | 半導体レーザ | ||
| 寸法 | 114(W) x 66(D) x 142(H)mm *突起部除く | ||
| 重量 | 1.05kg | ||
| 電源 | PoE給電（Ethernet） または DC12-24V @ 30W | ||
| 使用環境 | 10-40℃ / 20～95%（結露なきこと） | ||
| 通信 | Ethernet(TCP/IP) Modbus RTU オプション: 4-20mA出力（粒径2ch/ステータス1ch） |
||
| アラーム出力 | 無電圧接点（AC/DC 0～30V, 2A） | ||
| 本体内データ保存 | 256,000データ | ||
| 標準付属品 | 取扱説明書（WEB DL）、校正証明書、検査成績書、トレーサビリティ（WEB DL） | ||
| 主なオプション | センサ固定金具、等速吸引プローブ、チューブ、ＬＡＮケーブル、 HUB、AC電源アダプタ、ゼロフィルタ、モニタリングソフトウェア、パソコンetc. |
||
仕様表は横にスクロールしてご覧ください。
適合規格： ISO 21501-4 / JIS B 9921 / CE
| 型 式 | 6310 | 6510 | |
|---|---|---|---|
| 粒径区分 （アナログ出力時：2粒径選択） |
0.3/0.5/0.7/1.0μm | 0.5/0.7/1.0/5.0μm | |
| 試料流量 | 28.3L/min（1.0CFM） | ||
| 最大粒子濃度 | 29,000,000/㎥ （計数損失10%以下） | ||
| 筐体材質 | ステンレス | ||
| 光 源 | 半導体レーザー | ||
| 寸 法 | 254(W) x 155(D) x 267(H)mm *突起部除く | ||
| 重 量 | 6.5kg | ||
| 電源電圧 | DC24V 3A | ||
| 使用環境 | 2-40℃ / 20～95%（結露なきこと） | ||
| 通信 | Ethernet(TCP/IP) Modbus RTU 4-20mA出力（粒径2ch/ステータス1ch） |
||
| アナログ入力 | 4ch | ||
| アラーム出力 | 無電圧接点（AC/DC 0～60V, 1A） | ||
| 本体内データ保存 | 3,000データ | ||
| 標準付属品 | 取扱説明書（WEB DL）、校正証明書、検査成績書、 トレーサビリティ（WEB DL）、等速吸引プローブ、 チューブ接続用パイプ、チューブ（3m） |
||
| 主なオプション | AC電源アダプタ、ＬＡＮケーブル、HUB、ゼロフィルタ、 モニタリングソフトウェア、パソコンetc. |
||
仕様表は横にスクロールしてご覧ください。
※備考 *@計数損失10%以下
環境モニタリングシステム図
環境モニタリングシステム図
計測範囲： 0.1～10μm
吸引流量： 28.3L/min
日本語タッチパネル
半導体・電子部品・液晶業界
ポータブル パーティクルカウンタ A100-31/A100-35
計測範囲：0.3～10μm
吸引流量：28.3・50L/min
日本語タッチパネル
製薬・医療・食品・液晶業界
ポータブル パーティクルカウンタ A100-51/A100-55/A100-50
計測範囲： 0.5～25μm
吸引流量：
28.3・50・100L/min
日本語タッチパネル
製薬・医療・食品・自動車業界
計測範囲： 0.3～25μm
吸引流量： 2.83L/min
3粒径計測（9303）
6粒径計測（9306）
日本語タッチパネル（9306）
計測範囲： 0.1～10μm
吸引流量： 28.3L/min
連続監視
多点モニタリング用センサ
半導体・電子部品・液晶業界
リモート パーティクルセンサ 7201/7301/7310/7501/7510
計測範囲： 0.2～25μm
吸引流量： 2.83・28.3L/min
連続監視
多点モニタリング用センサ
製薬・医療・食品・液晶業界
リモートパーティクルセンサ（ポンプ内蔵タイプ）
6201/6301/6501/6310/6510
計測範囲： 0.2～25μm
吸引流量： 2.83・28.3L/min
連続監視
多点モニタリング用センサ
製薬・医療・食品・液晶業界
粒径範囲：10nm～1μm
吸引流量：2.83L/min
凝縮液：超純水または脱イオン水
高圧ガス(CDA/N2/Ar)の圧力をパーティクルカウンタの動作に適した一般大気圧に減圧します。
アフターサービス（校正・修理）について
修理・点検・校正作業は、ニッタ㈱奈良工場および東京サービスセンタの2拠点で対応しています。微粒子計測器の分野で30年以上の経験を持ち、知識、情報、専門的な技術を蓄積してきました。ニッタ独自の技術力で、優れたメンテナンスサービス体制を構築しています。
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