清浄度監視システム

クリーンルーム内の清浄度測定は、リアルタイムに常時監視するのが最も良い方法です。測定ポイント数、対象粒径とコスト等に応じ、流路切替方式とセンサをポイント毎に設置する常時監視方式で提案します。

常時監視方式（センサ多点方式）

各測定点にパーティクルカウンタを設置する連続監視用のシステムです。通信は Ethernet(TCP/IP)、アナログ(4-20mA)出力を選択できます。
専用ソフトウェアまたはデータロガー等でデータ管理ができます。

常時監視構成図PDF

リモートパーティクルセンサ 7201/7301/7310/7501/7510

計測範囲： 0.2～25μm
吸引流量： 2.83・28.3L/min
連続監視
多点モニタリング用センサ
製薬・医療・食品・液晶業界

リモートパーティクルセンサ 7110

計測範囲： 0.1～10μm
吸引流量： 28.3L/min
連続監視
多点モニタリング用センサ
半導体・電子部品・液晶業界

リモートパーティクルセンサ（ポンプ内蔵タイプ）
6201/6301/6501/6310/6510

計測範囲： 0.2～25μm
吸引流量： 2.83・28.3L/min
連続監視
多点モニタリング用センサ
製薬・医療・食品・液晶業界

モニタリングソフトウェア FMS5

温湿度、差圧、風速アナログセンサからのデータ取り込み対応 FDA21 CFR Part11対応

医薬品製造区域の清浄度管理
流路切替方式（マニホールド方式）

パーティクルカウンタ１台で最大32ポイントを測定する切替え方式のシステムです。各測定ポイントまで長さ50mのサンプリングチューブを使用するため、センサーユニット(マニホールド)の設置場所を広範囲で検討できます。将来、測定ポイント増設または移設を行う時もチューブ長50m範囲内で容易に対応ができます。

切替式構成図

ポータブルパーティクルカウンタ 9110

計測範囲：0.1～10μm
吸引流量： 28.3L/min
半導体・電子部品・液晶業界

リモートパーティクルセンサModel 6310

計測範囲： 0.2～25μm
吸引流量： 2.83・28.3L/min
連続監視
多点モニタリング用センサ
製薬・医療・食品・液晶業界

センサーユニット（流路切替装置）

1ユニット最大32箇所測定
非接触式切替器
常時吸引式

モニタリングソフトウェア FMS5

温湿度、差圧、風速アナログセンサからのデータ取り込み対応 FDA21 CFR Part11対応

医薬品製造区域の清浄度管理